二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-27430 #293777810 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27430 Reactor是一種多用途工具，允許使用者處理各種底物。它設計用於進行多種材料的改變，而無需打開反應堆。這種獨特的反應性功能允許用戶從一個進程過渡到另一個進程,而不會導致停機,從而產生更高的吞吐量容量。AMAT 0010-27430反應堆通常處理矽（Si）晶片。該腔室的主要鋁制外殼包含矽材料通過的矽管。管狀Si室內部有兩個獨立的雙位置靜電卡盤，一個用於進入，一個用於工件的退出。腔室的一端用蓋子密封，另一端保持打開狀態。該室還容納各種工藝所需的幾種工藝氣體，如等離子體蝕刻或氧化。APPLIED MATERIALS 0010-27430 Reactor的一個主要特點是它能夠創造出自持等離子體。自維持等離子體是化學氣相沈積和氣體增強蝕刻等過程所必需的。等離子體的產生是通過使用由氦氣、氙氣和氮氣等催化氣體組成的氣體混合物來控制反應發生的。這允許用戶根據所建議的應用程序所需的條件進行適當調整。0010-27430反應堆的另一個獨特特點是腔室溫度控制。這可以使腔室在發生的各種過程中保持在所需的溫度範圍內。此外，為了確保過程的穩定性，反應堆配備了主動通量控制裝置。該通量控制器可確保熱區由於壓力和溫度的波動而受到的幹擾最小。這樣就可以控制過程,並提高結果的可重復性。多種材料的加工能力使得AMAT/APPLICED MATERIALS 0010-27430反應堆成為大學、科研院所和工業的絕佳選擇。其獨特的腔室設計和過程控制功能為多種過程和材料轉換提供了前所未有的組合。AMAT 0010-27430反應堆的靈活性使得許多獨特的創新應用在加速的時間範圍內得以實現，讓用戶快速超越目標、要求和預期。