二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-27430 #293799036 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27430是一種多區低壓化學氣相沈積（LPCVD）反應器。反應堆采用原位四區熱壁火炬系統，產生多晶矽、氮化矽、氧化矽材料的薄膜沈積層。該反應堆由於具有多個區域和高溫精度，提供了卓越的均勻性和厚度控制。反應堆由一個中央真空室組成，該真空室配有四個對稱對齊的加工區。每個區域由陶瓷熱交換器、支撐桿和加工室組成。陶瓷換熱器含有氫氣和氮氣MFC的惰性氣氛，可精確控制所有區域的溫度。支撐桿支撐著由內部加工管和外部石英管組成的加工室。石英管外部加熱，也用於監測和控制內管溫度。反應堆還包含許多其他組件，如反應噴射器和質量流量控制器。噴射器用於註入LPCVD沈積過程所需的氣體。質量流量控制器用於監測和調整各種氣體的流量，以及所有區域的溫度。反應堆還包含低壓計、惰性氣體凈化組件和氣體擴散面板。反應堆利用高壓氫氣和氮氣限制氧化，提供更好的材料質量。它還采用了自動管清洗工藝，減少了對反應堆不斷進行人工清洗和維護的需要。此外，溫度精度由位於整個反應堆的許多溫度傳感器提供。該反應器是為沈積具有精確厚度和均勻性的半導體薄膜而設計的。它也是高度可靠的，可以提供高達50%的減少物質浪費。反應堆的設計也是為了盡量減少操作員的幹預，確保可重復性和一致的生產質量。反應堆可用於制造邏輯器件、內存器件和其他高度精確和嚴格的元件，用於廣泛的工業。