二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-27983 #293724910 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27983是為半導體制造應用而設計的反應性離子蝕刻（RIE）反應器。反應堆采用四個不同的腔室部分。包含氣體管線的上部部分向反應室提供反應材料。下部裝有真空歧管/泵裝置，用於腔室疏散和維護。反應室是密封的，並配有惰性氣源，允許在蝕刻過程中控制環境，從而確保材料的精密蝕刻。AMAT 0010-27983 RIE反應堆的腔室溫度範圍為50-400攝氏度，能夠容納各種各樣的晶圓尺寸和形狀。可以精確調整從直流到射頻的電源,以產生各種材料的精確蝕刻結果。反應性氣體可通過氣體管線與相應的流量控制器引入反應室，調節氣體混合和壓力。此外，該系統還配備了一個自動晶片處理單元，該單元與機械臂耦合，使晶片能夠從反應室中自動裝卸。為了進一步提高蝕刻精度,該機器提供了其他定制選項,如機器人支撐結構、屏蔽和可調節的擱置位置,以實現晶圓的最佳跟蹤。APPLIED MATERIALS 0010-27983 RIE反應堆還提供模塊化設計，方便與現有系統集成，並擴大生產能力。為確保最佳工藝性能和可靠性，0010-27983反應堆采用符合ISO 9000認證的質量標準出廠測試。此外,該工具旨在接受升級和升級,可提供更大的腔室尺寸、更高的安全級別、改進的工藝流程和改進的溫度穩定性。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27983 RIE反應堆是高效、精確蝕刻半導體材料的理想工具。它具有多種特殊功能,包括自動晶片處理、可調節的擱置位置和屏蔽,以及可確保最佳工藝性能的模塊化設計。而且，對資產進行徹底的測試和質量控制，以確保可靠性和安全性。
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