二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-27983 #293773971 待售

ID: 293773971
晶圓大小: 12"
MCA E-Chuck assembly, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27983是一種最先進的化學氣相沈積(CVD)反應器,設計用於半導體制造中各種薄膜和塗層的大批量制造。該反應堆是先進微電子生產過程中的關鍵部件,在前沿技術的發展中起著至關重要的作用。該設備由半導體行業創新解決方案的領先供應商AMAT制造。反應堆的設計融合了先進的特點和技術,以確保高效、精確的控制,以及卓越的性能沈積薄膜具有非凡的均勻性和質量。AMAT 0010-27983的關鍵部件包括一個反應室、氣體輸送設備、溫度控制系統和真空單元,它們都和諧工作,為沈積過程創造一個受控環境。反應室是反應器中發生化學反應將薄膜沈積到底物上的關鍵部分。其設計可承受高溫和腐蝕性化學品,確保沈積過程的穩定性和可靠性。腔室配有石英或陶瓷材料,提供出色的隔熱和耐化學侵蝕。反應器的氣體輸送機在控制前體氣體流入反應室中起著至關重要的作用。該工具由質量流量控制器、氣體管線以及精確調節氣體流量的閥門組成,以達到所需的膜性能。為防止汙染和保證薄膜質量一致,設計了高純度和可靠性的氣體輸送設備。APPLIED MATERIALS 0010-27983反應堆的溫度控制模型設計為在整個沈積過程中保持均勻精確的溫度剖面。該設備對於控制薄膜生長動力學,實現所需的晶體結構和性能至關重要。溫控系統配備多個溫度傳感器、加熱器、冷卻機構,提供精確的溫度控制和穩定性。反應器的真空單元對於建立和維持反應室內的受控環境至關重要。它將腔室排空至低壓水平,清除雜質,防止沈積過程中發生不必要的反應。真空機配備了高性能泵、壓力表和閥門,以達到並保持最佳膜沈積所需的真空水平。總體而言,0010-27983反應堆是半導體制造中沈積薄膜的高度精密可靠的工具。其先進的設計、精確的控制系統和高質量的元件使其成為尋求生產性能和可靠性卓越的尖端設備的領先半導體制造商的重要資產。
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