二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30094 #293658018 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094反應器是一種高效、通用的工具，用於薄膜沈積在基板上。這種反應堆是一種金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）設備，這意味著它使用化學反應來制造材料層並將其沈積到基板上。反應堆由多室系統組成，具有多種配置選項，在塗覆基板時允許更大的靈活性。反應堆的堆芯是一個沈積室，裏面裝有塗層用的基板。這個腔室配有多個加熱源，包括燈加熱器、石英加熱器和冷熱墻，以精確管理基板的溫度。另外，腔室與一個動力輸送單元耦合，該單元應用產生形成薄膜的化學反應所需的電力。沈積室與外部環境的界面是真空傳遞室。該腔室配有機械助推泵和低溫冷卻機，以維持所需的真空壓力和溫度範圍。轉移室還能使基板從沈積室自動移動到外部環境進行冷卻和測試。該反應堆設計用於處理各種基材，如玻璃、陶瓷和金屬。它還可以處理大型基板，尺寸可達450mm。它能夠一次沈積多種目標材料的厚層，每層的厚度可達10nm。沈積速率是可變的，可以根據所需的層厚度來設置。此外，該反應堆是專門為超清潔作業而設計的，用於沈積底物均勻且汙染水平低的薄膜。AMAT 0010-30094反應堆是沈積工藝的絕佳工具，具有高精度控制和多功能性。它能夠為廣泛的薄膜應用生產薄膜，如光學塗層、半導體和光電子，精度和效率都很高。多重加熱系統、送電工具、真空控制能力使其具有高度可靠和人性化的特點。