二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30094 #9026410 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094是一種精密反應器，設計用於幹蝕刻、沈積、氧化等基材加工應用。AMAT 0010-30094采用特別設計的雙級真空室，配備兩臺獨立真空泵，實現令人難以置信的高真空。效果是一個統一、精確的過程環境，結果無與倫比。550mm直徑的腔室具有平衡的線性能量分布，沿整個基板均勻加工。這樣可以在整個晶片上實現更高的蝕刻速率和更好的均勻性。此外，該室配有嵌入式冷卻設備，可準確有效地控制工藝溫度。除了雙級真空室之外，APPLIED MATERIALS 0010-30094還具有多種可選組件，以滿足各種加工需求。可以安裝氣體輸送系統，將加工氣體送入腔室，並監測壓力和流量。這確保了工藝的每個步驟都是在適當的化學環境下完成的。還可以實現自動晶圓傳輸單元來裝載和卸載基板。這臺機器可以用來在腔室之間移動基板來執行更復雜的過程。0010-30094還可配備診斷工具,實時檢測蝕刻、沈積和溫度過程。這一診斷資產使用壓力和溫度傳感器以及電子束和電離儀來監測腔室狀況。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094是需要高精度的專業加工的理想反應堆選擇。這種先進的反應堆使用最先進的技術和工藝來產生可靠的結果，使用戶能夠更好地控制其工藝。從基本蝕刻到復雜沈積，AMAT 0010-30094為用戶提供了一流的性能和可靠性。