二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30125 #9277735 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30125是一種高速反應室，用於薄膜快速精確沈積。它利用化學氣體和能源的混合物來產生所需的薄膜特性，如均勻性、光學和電性能。該反應堆室是專門為成本效益高的工藝而設計的，允許較低的每區成本沈積率。反應堆室由不銹鋼構成，提供耐溫外殼。為了在操作過程中保持穩定和防止不必要的氧化和汙染，存在惰性氣毯系統。此外，真空泵將空氣從腔室中抽出，從而產生反應所需的壓力。該腔室通常在操作過程中加熱到650°C，進一步有助於反應過程。這個腔室心臟的主要元素是晶圓加熱器、感應耦合等離子體、（ICP）發生器、淋浴頭、高頻、低頻高壓發生器，以及相關的電極、線圈、氣線。晶片加熱器在晶片上保持均勻的溫度，而感應耦合等離子體發生器則產生帶正電的離子和電子的均勻等離子體。然後，淋浴頭將等離子體引向晶片。過程中，高頻和低頻發電機向電極提供電能，導致與等離子體粒子發生級聯反應。一旦所需的銅薄膜被沈積，氣體和電能就可以被切斷，從而使得晶圓加工得以快速周轉。綜上所述，AMAT 0010-30125是一種高速反應室，旨在高效、經濟高效地快速沈積薄膜。其組分結合起來，通過涉及等離子體、電能和溫度控制氣體的級聯反應實現精確、可控的薄膜沈積。