二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30319 #293661399 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30319是一種高性能反應堆設備，旨在為復合半導體及相關材料的生產提供優越的加工和沈積能力。該反應堆非常適合與MEMS、光電元件、電力電子設備以及使用先進薄膜和器件制造工藝制造的其他微量和納米級結構有關的應用。反應堆具有針對高通量過程優化的大內容量，最大氣流高達9000標準立方厘米每分鐘（sccm），總壓力高達1000 mTorr。反應堆采用射頻濺射源，可精確控制濺射沈積厚度和等離子體參數，還配備了集成旋轉基板裝載機，優化了基板交換，最大限度地減少了對額外設備的需求。該系統配備了負載鎖模塊，高分辨率、多區域數字控制單元提供了整個基板的精確均勻性。腔室可以控制到-20°C的溫度，允許通過變化的溫度範圍來優化層厚和組成。反應堆采用具有廣泛靈敏探測能力的離散四極質譜儀，用於監測濺射層或沈積層的組成。先進的氣體輸送模塊還確保對蝕刻和沈積氣體的精確輸送控制，能夠輸送多達20種氣體。反應堆機被設計為與一系列的加工工具配合使用，如原位表面分析工具、晶圓處理工具和其他附件。此外,該資產還具有多種安全功能,包括機械傳感器、聯鎖和通風系統。總體而言，AMAT 0010-30319反應堆模型為先進的薄膜和器件制造工藝提供了精確的性能和無與倫比的吞吐量。它非常適合生產復合半導體材料和MEMS、光電元件以及其他微量和納米級結構。