二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #119697 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686 Reactor是一種先進的CVD（化學氣相沈積）工具，為工程塗層和微觀結構提供完整的熱CVD工藝。該設備構建在模塊化平臺上,使研究人員能夠設計解決方案以滿足其最苛刻的過程要求。AMAT 0010-30686反應堆提供了廣泛的工藝能力，包括從室溫到1000C的標準工藝溫度以及10-200 mTorr的工藝壓力。該系統非常適合需要高度控制的熱CVD過程和/或非常高的溫度的研究應用。應用材料0010-30686反應堆包括一個八角形雙區反應堆爐，用於單晶片或批量加工，以及一個氣體分配歧管，最多可容納八種工藝氣體。板載過程監控設備有助於確保從運行到運行的可重復、可靠的過程。此外，過程參數的實時控制允許用戶針對特定目標優化沈積過程，如薄膜厚度和薄膜均勻性。0010-30686反應堆的燃燒室由95%的氧化鋁構成，非常適合與廣泛的工藝氣氛和化學體系兼容。腔室還包含一個3-Kilowatt射頻發生器，用於輸送某些過程所需的高能等離子體。射頻發生器產生的輻射熱可用於達到最高沈積溫度或維持等溫過程，這取決於最終用戶的需求。安全和維護功能使AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686反應堆與其他系統脫穎而出，具有前置加載晶圓穿梭機等特點，以及降低裝卸時間和提高操作安全性的過程卸載單元。反應堆有一個集成的維護機器，以及一個全面的數據記錄功能來跟蹤過程事件。最後,可以使用控制控制臺上的按鈕鍵盤遠程上下電。AMAT 0010-30686反應堆是用於高溫和/或高紋理工藝工程和研發的功能強大且用途廣泛的CVD工具。這一資產的模塊化平臺允許靈活和直觀的最終用戶設置，以便能夠針對具有不同處理氣氛和化學特性的各種過程量身定制。這種先進的熱化學控制反應堆的精確控制、堅固的安全特性和可重復的性能可以使依賴創造性工藝工程的研究應用受益。