二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #293635611 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686是一種單片批次化學氣相沈積（CVD）設備，設計用於工藝靈活性和盡可能高的工藝性能。這種反應器結構由不銹鋼制成，氣密，用於腐蝕性材料。該系統使薄膜能夠在高度均勻且在高速度沈積和高溫下完全光滑的基板表面沈積。該裝置采用單盒式設計，可同時進入工藝室和負載鎖室。該工藝室為標準外延和高級工藝化學提供兩區配置，為特種工藝化學提供三區配置。負載鎖室設有多功能原位加工室，並有多個用於加工氣體、泵和其他附件的端口。AMAT 0010-30686反應堆包括一個氣體箱，用於容納氣體輸送和監測系統。這個氣箱是溫度控制的，包括粒子過濾、壓力和流量控制。它還包括一個帶有電子流量控制和壓力傳感器的氣體混合歧管。該機擁有所有的電子自動化、算法和先進的軟件技術。它支持具有多達七種氣體的高速蝕刻和沈積配方，以及多個腔室功能。特點包括用於熱均勻性的集成冷卻器、用於最大化上浴負載的集成負載端口支持、具有四區壁控制集成的多區域工藝控制以及自動配方優化。在安全性和可靠性方面，該工具擁有報警系統、安全聯鎖、電壓聯鎖、過程監控系統，以確保安全可靠的運行。此外，反應堆的設計能耗低，運行效率高。此資產還具有模塊化設計,便於維護和服務。總體而言，應用材料0010-30686反應器是制造高質量薄膜的可靠高效模型。其先進的工藝化學、多區工藝、氣箱溫度控制設計、安全聯鎖和報警，以及優化的配方自動化，使其成為在均勻且表面平滑度較高的基板上沈積薄膜的理想設備。