二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #9199797 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686是一種等離子體CVD反應器，設計用於對多種材料進行快速處理。它能夠在非常高的溫度下運行,並提供多種工藝選項,使用戶能夠為其特定應用程序選擇最佳處理參數。反應堆配有高端等離子體源，能夠產生高能離子，允許在高溫下進行處理。堅固可靠的等離子體源還允許高效的熱傳輸，從而實現快速的過程循環和出色的過程重復性。AMAT 0010-30686反應器是一個密封的矩形室，由頂級鋁和不銹鋼構成。位於反應堆頂部的氣體歧管連接到氣體管線，可以調整以提供給定過程的最佳流量和壓力水平。在腔室內部，使用支撐結構將等離子體火炬懸掛在基板表面上方，從而實現對工藝條件和可重復結果的最佳控制。等離子火炬由高頻發電機供電，能夠產生高能（13.56 MHz）無線電波。這種能量隨後通過射頻網絡傳遞到火炬噴嘴，產生高密度的等離子體。等離子體的能量足以達到高達1500 °C的溫度，允許薄膜和塗層以每秒幾埃的速率生長。將基材裝入腔內，然後浸入液體前體溶液中。液固界面可以保持恒定溫度，使底物保持均勻加熱，促進均勻膜沈積。腔室內部的壓力水平可以調整，以達到特定過程所需的壓力。溫度可以通過控制面板調節，該控制面板與嵌入腔壁的熱電偶相連，可以對工藝條件進行精確控制和監測。APPLIED MATERIALS 0010-30686反應堆可用於廣泛的應用，使其成為研究人員和行業的通用工具。憑借其可靠和可重復的工藝，它允許制造高質量的薄膜、塗層和其他復雜材料，用於電子、光電、傳感器和醫療設備。