二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162 #9026413 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162是專門為大規模生產薄膜而設計的完整低壓化學氣相沈積（LPCVD）設備。該系統由六個部分組成：一個爐、一個氣體控制單元、一個控制器、一個真空室、一個輸送單元和一個真空儲層。每個組件協同工作,可以精確控制過程參數,從而使機器能夠降低成本、提高產量並提高吞吐量。該爐是該工具的主要溫度控制單元，為LPCVD工藝提供了均勻的溫度分布。其設計可承受高溫，可用於沈積氧化矽、氮化物和矽氘膜。氣體控制裝置設計用於在指定溫度下精確混合和凝結氣流。使用質量流量控制器和機械閥門的組合實現了對工藝氣體的精確控制。控制器是一種計算機控制的數字邏輯控制器，它協調資產組件的運行。控制器監控和測量過程參數,用於編程配方、監控操作性能以及控制過程時間和產品質量。真空室是一個定制的鋁制腔室，帶有不銹鋼襯裏。它旨在為沈積過程提供超高真空環境。送貨模式是一種靈活、高壓的設備，其設計目的是以高達14巴的速度輸送加工氣體，從而提高產量，減少加工時間。它采用高壓氣體點播系統，在需要時自動輸送加工氣體。真空儲罐的設計是為了減少加工室內對粗糙泵的需要。該裝置旨在減少機器循環時間，提高工藝可靠性。總體而言,AMAT 0010-36162 LPCVD工具是一種完全自動化的高性能資產,旨在適應大規模生產薄膜的需要。其組件集成到一個緊湊的模型中，該模型提供了對過程參數的精確控制，增加了吞吐量，降低了成本並提高了產品質量。