二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162 #9075364 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162是一種垂直低壓化學氣相沈積（LP-CVD）反應器，旨在為半導體工業提供超高純度、聚晶矽膜的最高品質生長。其獨特的特性使其成為最通用的LP-CVD反應堆之一。AMAT 0010-36162反應堆具有垂直石英管熱區，可容納單個和多個晶圓。該反應堆采用先進的平帶加熱系統，可提供一致的溫度曲線，從而在垂直和水平晶片上均勻的薄膜生長。該系統還具有高效薄膜生長的可調流量和簡單的腔室輔助控制。此外,還提供變頻電源驅動器和數據記錄功能,從而實現精確的流程重復性。反應堆還設有帶窗口的工藝室，使用戶能夠實時查看沈積過程。該反應堆配有內置動態光譜儀，用於測量沈積速率和薄膜均勻性。此外，其先進的N2O管理系統旨在降低沈積過程中的顆粒含量，從而減少浪費，提高產量。此外，APPLIED MATERIALS 0010-36162是一種可靠的LP-CVD反應器，壽命長。石英管熱區的設計具有更長的壽命和更高的溫度能力，可以滿足最具挑戰性的生長條件的要求。先進的電氣和燃氣系統設計效率最高，維護很少。綜上所述，0010-36162是一種可靠高效的LP-CVD反應器，旨在為半導體行業提供均勻、高質量的多晶矽膜生長。它的特點使其成為最通用、最先進的LP-CVD反應堆之一。