二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162W #293620937 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162W Reactor是一種高性能、高通量的工具,用於執行化學和材料處理操作,如化學氣相沈積、蝕刻和表面改性。該反應堆是一種改進的高效、低溫、直流（DC）驅動等離子體增強設備，設計用於標準直流電源。其多晶矽襯裏使其成為半導體工業中金屬、聚合物和其他介電材料沈積的理想選擇。AMAT 0010-36162W反應堆具有可擴展、高精度的線性運動底座和兩個地面支撐的流動-動態陽極滑塊，用於雙向安全運動。反應堆完全密封，防止汙染物堆積，實現精確的化學反應。該裝置設有帶蒸汽供應系統的封閉式腔室，可實現精確的蒸汽輸送和卓越的汽化控制。腔室設計包括先進的氣動屏蔽絕緣，消除了溫度分層，實現了精確的化學溫度控制。整體沈積矩陣提供了目標在基板界面的精確定位，而四區熱剖面控制單元則確保了可靠的熱管理。應用材料0010-36162W反應堆的可控氣體機利用多達六個單獨編程的氣體輸入，允許多個氣體反應和精確的化學控制。該機組還配備了飛行時間質譜儀（TOF MS）和離子泵，以方便揮發性氧化過程，並允許直接檢測和控制反應產物。提供了可擴展的工藝模塊,允許增加沈積功能和增加材料吞吐量。0010-36162W反應堆非常可靠，即使在最惡劣的運行條件下也具有良好的控制和可重復的性能。該工具完全可擴展和可配置,以適應各種基材尺寸、材料和工藝,從而實現最大的靈活性。其精確、線性運動的裝配還確保了卓越的可重復性和穩定的層一致性,其集成的診斷資產可以提醒操作員註意可能出現的任何問題。其尖端技術和創新設計使其成為最苛刻的化學反應和半導體操作的理想工具。