二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162X #9075362 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162X是一種特高壓蒸發/濺射反應器,用於將薄膜物理氣相沈積到玻璃、矽、金屬或陶瓷等基板上。設計用於LMS真空系統等標準L級真空系統。AMAT 0010-36162X的底壓範圍為6.7x10-7 torr至1x10-2 torr，可用於形成導電、絕緣、光學或屏障膜。應用材料0010-36162X利用電阻加熱與蒸發材料的粉狀、顆粒狀或片狀形式.其蒸發室由不銹鋼組成，安裝夾具由鍍金銅制成。陽極氧化鋁用於天線導軌支架和開槽蓋，PTFE塗層聚酯聚酯用於輻射屏蔽。天線導軌支架的天線載波和陶瓷由BN、Y-ZrO2或AlN等耐腐蝕材料制成。蒸發器還具有多個石英監視器端口，以及使用石英晶體膜厚度監視器或無損聲監測系統的選項。0010-36162X還具有用於濺射沈積的磁控管和離子槍。磁控管濺射槍通過使用移動磁場提供穩定、均勻的薄膜，由在真空環境中偏置的線圈和交替產生。磁控管槍以目標的形式進給材料，並由直流電壓供電。另一方面，離子槍通過槍產生的離子向所需的基質發射原子。磁控管和離子槍都適合在高真空或低真空應用中使用，可以進行編程以達到所需的沈積厚度。最後，AMAT/APPLICED MATERIALS 0010-36162X包括允許用戶監控工藝條件並提供自動控制沈積速率的工藝軟件。它還提供了一系列參數設置,使用戶能夠調整工藝條件以滿足其特定的沈積要求。內置的安全功能有助於確保制造過程安全高效地進行。總體而言，AMAT 0010-36162X對於在實驗室和制造環境中創建高質量和一致的薄膜沈積非常有用。它具有一系列組件和設置,允許用戶根據需要調整工藝條件,以及用於監視和控制沈積參數的工藝軟件。安全功能還有助於提供安全高效的沈積環境。