二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9026414 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408
ID: 9026414
RF Match DPS.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408是一種先進的等離子體蝕刻反應器,設計用於微電子器件制造。它用於控制和維持超高真空環境,在該環境中,利用光學生成的等離子體蝕刻和繪制基板表面。反應堆由一個圓柱形的腔室組成,其底部有一塊扁平的金屬板。它有一個內壁設計為能夠抵抗來自反應性氣體的腐蝕和一個法拉第籠子保護等離子體免受外部電場或磁噪聲。多層陰極組件通過頂板插入腔內,充當放電源,收集等離子體產生的電子。陰極組件連接到電源,能夠在陰極和陽極(金屬板)之間產生電弧放電直至30kV。AMAT 0010-36408還具有完整的可選附件系列以提升其性能,如蝕刻面罩、泵送端口隔離器和數字讀出氣體壓力調節器。位於真空室的電加熱元件,用於加熱反應器的部件,促進反應溫度均勻,提高等離子體穩定性。反應堆還配有觀察窗口,用於監測蝕刻過程。最後,工廠按照嚴格的標準對APPLIED MATERIALS 0010-36408進行了校準,以確保可靠和一致的結果。它堅固耐用的結構使其能夠在各種不同的操作環境中可靠地運行。這種先進的反應堆是半導體工業中對基板進行高精度蝕刻和圖案化的理想選擇。
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