二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9177196 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408
ID: 9177196
RF Match DPS.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408是一種電感耦合等離子體(ICP)反應器,用於半導體器件加工等各種硬件應用。此特殊模型因其模塊化設計而受到重視,允許定制其內部組件以滿足特定應用程序的需求。它的工作原理是創建一個熱等離子體,利用持續的射頻功率分解化學元素,然後將其註入反應室中。此過程允許在微觀水平上對材料進行表面修改和清潔。AMAT 0010-36408通過應用高頻(最高70-MHz)射頻源在反應室中創建軸對稱熱等離子體運行。高頻源在反應室中感應出電流,激發內部存在的氣體粒子。這種激發能導致氣體粒子溫度升高,或者電離或解離,然後註入反應室中。由於射頻源的效率,該過程非常高效,允許材料以精確和受控的方式選擇性沈積在晶圓表面。APPLIED MATERIALS 0010-36408的反應室有一個可移動的頂部,在進行調整時便於進入。腔內存在可調的源密度函數,允許設置射頻源的強度,同時設置等離子體的溫度和壓力。這使用戶能夠精確控制測試材料在晶片上的沈積速率。此外,通過控制操作參數,可以設置安全限制以確保操作安全。0010-36408還具有為系統提供額外穩定性的集成離子源。離子源向反應室供應離子化的氙氣,從而穩定等離子體分布,從而延長反應室中各組分的壽命。此外,它還有助於減少過程中損失的熱能,確保過程更加高效。作為一個整體,AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408是一個可靠、通用、高效的ICP反應堆,被認為是許多硬件應用必不可少的組成部分。高度可調的射頻源使其適合於精確的表面利用任務,而集成的離子源則有助於延長其組件的壽命並確保高效運行。
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