二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9177210 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408是一種單晶圓同心電感耦合等離子體（ICP）反應器設備，廣泛應用於先進材料和器件加工。它比傳統的反應堆系統具有許多優勢，例如更高的通量工藝和更好的工藝控制。這使得它非常適合各種等離子體應用，包括蝕刻、沈積和氧化/還原。該反應器采用雙激光源，有助於提高等離子體的均勻性，有效清潔晶片表面。激光源位於主腔室外，從而提高了工藝可靠性和控制能力。雙激光器可以更好地控制等離子體參數，從而實現更高效的操作。反應堆可處理直徑200-300mm的晶圓，最大射頻功率為1.2kW，感應功率可達4kW。射頻功率可以設置為零到任意頻率，從而能夠精確控制等離子體功率。上部屏蔽層用於產生均勻、溫度穩定的大氣，適合擴散過程。該系統配有射頻反饋回路，可連續監測等離子體功率，從而能夠精確控制其參數。這提供了一個高度準確和可重復的過程。反應堆還設有變速對流控制，以保持等離子體均勻分布。這樣可以在晶片上進行更均勻的材料沈積。這對於各向異性蝕刻應用特別有用,在這些應用中,必須從所有表面均勻蝕刻材料。該設備設計用於現場安裝和便攜式系統。它完全可定制,具體取決於特定的流程要求,並且可以針對復雜的定制配方進行設置。它還包括過程安全的多種安全功能。AMAT 0010-36408反應堆是一種高度通用的材料加工和設備制造應用機器。它提供快速的處理速率,並提供比其他系統更高的過程控制。適用於多種工業、研究、教育環境。