二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9358045 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408 Reactor是為表面和薄膜沈積應用而設計的多功能高端設備。反應堆具有螺旋流動設計、活性氣分布和低調、獨立的陶瓷外殼等創新功能。該設計實現了薄膜沈積的高均勻性和極低的缺陷密度.該系統反應室大，容積高達0.004立方米。創新的氣流設計進一步增強了沈積的均勻性，利用螺旋和/或蛇紋石流動技術增強了氣面接觸。活性氣體分布等同於表面條件改善，顆粒汙染低，沈積膜中耐火金屬元素大大減少。這反過來增加了沈積膜的壽命，使得AMAT 0010-36408反應堆適合於高端、高保真的過程。反應堆配有可插入射頻源，可用於低壓、低熱預算的沈積過程，使高價值塗層應用成為可能。反應堆還有一個精確的溫度控制系統，以及一個壓力控制系統，每一個系統都是為精確運行而設計的。反應堆的溫度範圍被設計為覆蓋各種沈積速率和溫度，最高可達1800°C，噪聲水平非常低。這種高性能反應堆配備了一系列自動化控制，包括低振動陶瓷鐘，薄膜保護，過程中斷和自動平衡功能。應用材料0010-36408反應器適合各種薄膜沈積需要，是高保真和/或高價值塗層應用的理想選擇。其薄膜沈積均勻性和低缺陷密度保證了一段時間內性能的一致性，使得精度和可重復的結果成為可能。