二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36734 #293807909 待售

ID: 293807909
晶圓大小: 12"
Ceramic heater for Producer, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36734是一種全尺寸化學氣相沈積(CVD)室反應器子系統。它設計用於電子束設備,主要用於將材料沈積到預制的基材或晶片上。該腔室的工作範圍從超高到環境壓力條件,以及高達2000 °C的溫度。AMAT 0010-36734包括陶瓷噴射器、排氣系統和用於分配前體或反應物材料的射頻線圈。這樣做是為了確保材料在腔室內的均勻分配,從而產生高效和優質的沈積物。此外,該腔室的設計采用了若幹謹慎措施,以保護基板和部件免受靜電荷汙染和/或潛在損害。這些措施包括防靜電地板、惰性氣體淋浴和專門的墻面處理。APPLIED MATERIALS 0010-36734還利用專門技術提升了腔室的整體性能,如壓力控制自動化、均勻性控制、遠程診斷等。這確保了材料的精確和一致沈積,提高了產量。該腔室還配備了一個計算機控制的液晶顯示屏,用於監視和控制所有腔室參數。此面板提供壓力、溫度、沈積速率、射頻功率和氣體消耗等信息。這使操作員能夠實時監控其流程性能,並快速高效地調整參數。總之,0010-36734是一種工業標準的CVD室反應器機器。它旨在為基板提供一致、高質量的沈積物,同時保持工具的安全性和防止汙染。該室利用專門技術確保精確高效的沈積環境,並通過其計算機控制的液晶屏面板提供方便的可調整性。
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