二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-56201 #293666003 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-56201是為矽晶片上半導體材料的沈積過程而設計的反應器。這座反應堆是一個集群工具，允許在一個集成設備中完成多個過程，使其成為先進薄膜半導體技術沈積的理想選擇。反應堆有一個光刻光柵，使用戶可以用幾何圖樣對基板做圖樣。該標線與加工室結合，使光學光刻，在基板上創建所需的圖樣。等離子體增強化學氣相沈積過程隨後被用來沈積一層薄薄的材料，如二氧化矽或氮化矽。沈積可以在單層或多層中完成，從而在基板上產生所需的特性和特征。反應堆被設計成高度靈活的系統，能夠在同一腔室中執行多個過程。這種柔韌性的一個例子是離子植入基板的能力，一種用來向基板材料添加電荷以控制晶片的電子特性的過程。可以在腔室中完成的其他過程包括氧化和選擇性蝕刻，使得能夠制造具有復雜幾何形狀或多層的晶片。這座反應堆的設計也考慮到安全性，設有空氣過濾裝置、滅火機和緊急關機控制裝置。反應性氣體輸送工具還確保了沈積過程能夠安全有效地完成，消除了與化學蒸氣或氣體有關的任何潛在安全風險。反應堆能夠進行多種過程，包括金屬沈積、自旋塗層、等離子體增強化學氣相沈積和濺射。這種反應器的靈活性和安全性使其成為任何半導體制造或生產設施的理想選擇。