二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-59787 #293665751 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-59787 PECVD反應器是一種沈積室，設計用於將薄膜或層沈積到各種電子器件和系統的基板上。該系統利用化學氣相沈積（CVD）工藝將所需的薄膜材料沈積到基板表面。PECVD反應器具有易於使用的腔室設計，能夠在整個基板表面提供出色的沈積均勻性和均勻的層厚度。AMAT 0010-59787反應堆具有單一的自動化裝卸室，以及集成的動力、真空和氣體輸送模塊。該腔室的設計目的是提供較低的基板裝卸時間，以確保較短的整體處理時間。該腔室還設計成達到比傳統熱CVD工藝更高的工藝溫度，允許生產更高質量的薄膜。該反應堆的設計旨在提供簡單直觀的操作，具有易於跟蹤的圖形界面和穩健的系統架構。腔室的設計提供了一個寬廣的處理窗口，允許使用者根據其特定的沈積需求來調整溫度、壓力和其他工藝參數。這可以讓用戶創造出種類繁多的高品質薄膜。該反應堆中的反應性氣體輸送系統利用低壓、低溫化學氣相沈積（LP-CVD）工藝將所需的薄膜沈積到基板表面。LP-CVD工藝允許用戶從多種反應氣體中進行選擇，也允許氣體成分的調整，從而產生高度特異性的薄膜。該腔室還設計為提供極為均勻的薄膜沈積，並有可能在整個基板表面形成精確和可重復的薄膜厚度剖面。該室還具有易於使用的控制器，具有廣泛的數據記錄和過程控制功能，以確保過程安全並產生可靠的結果。應用材料0010-59787 PECVD反應器是一種強大的沈積室,具有高質量的沈積均勻性和最佳的工藝控制,非常適合生產各種電子器件和系統的薄膜材料。