二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-70058 #293658101 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-70058反應器是一種高效的腔室設備，設計用於材料科學和工藝開發的各種應用，如薄膜沈積。該系統能夠提供優質、均勻的薄膜材料塗層，用於微電子、數據存儲、光伏等多種應用。AMAT 0010-70058反應器采用了一個沈積室，該沈積室的特點是一個不銹鋼真空室，裏面裝有高純度氧化鋁，裏面裝有一個可移動的石墨熔爐。沈積室還裝有精密平衡木、射頻發生器和控制沈積速率所需的其他硬件部件。這個單元還包括一個廣泛的腔室壓力控制機，包含在兩個獨立的階段。壓力控制的第一階段包括一個渦輪分子泵以降低氣體背景壓力，以及一個粗加工的粗加工節氣門以精細調節腔內的壓力。第二級壓力控制包括與法拉第杯耦合的電子束源和機械閘閥，以精確控制汽化率和腔室壓力設置。該工具利用了最新技術,由幾個組件部件組成,這些部件經過優化以獲得最佳性能。它具有較高的加工率、高度均勻的層厚度和出色的粘性控制。反應堆采用的各種技術包括一系列先進的紅外和紫外線激光器以及先進的電子顯微鏡。對於化學氣相沈積，反應堆裝有一個射頻發生器、一個或兩個燈絲供氣管、一個石英管和一個氣體註入噴嘴。在操作過程中，氣體被引導到目標上方，在那裏它們與加熱的材料相互作用。當原子反應時，它們將一層或一層材料沈積在基板上。該層的厚度範圍從納米到微米不等，具體取決於材料和操作參數。除了化學氣相沈積，APPLIED MATERIALS 0010-70058反應器還支持多種其他物理氣相沈積過程，如濺射沈積和離子束輔助沈積。在濺射沈積過程中，將一種目標材料放入真空室，並用高能原子轟擊。這些高能原子隨後斷開材料表面，形成薄膜。離子束輔助沈積的工作原理是將高能離子束註入室內，然後與目標材料發生反應。總體來看，0010-70058反應堆是一種先進、高性能的腔室資產，旨在提供高質量、均勻的塗層。通過利用最新技術，該模型能夠提供高度均勻的層厚度和出色的粘度控制。該設備還能夠支持各種物理氣相沈積工藝，使其能夠應用於各種薄膜技術。