二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-70064 #293658125 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-70064反應器是一種用於加工和沈積薄膜層在基板上的工具，用於工業和科學應用。該反應器用於半導體和薄膜沈積、表面改性及相關工藝。該反應堆的設計旨在為生產和實驗室應用提供卓越的性能和工藝質量。反應堆由一個封閉矩形形狀的不銹鋼室構成。該腔室設計用於堅固、穩定的內部壓力和方便的內部維護。腔室的內部面積為150 x 180 x 114 cm，允許有很大的容量和高的吞吐量速率。該反應器非常適合廣泛的低真空、高溫和高真空過程，包括化學氣相沈積（CVD）、物理氣相沈積（PVD）、表面改性和蝕刻應用。一個關鍵特點是它能夠維持低壓作業所需的工藝氣氛，並保持高壓作業的真空水平。反應堆的內部工作壓力範圍為1 x 10-5 mbar至1000 mbar，允許加工多種材料。反應堆能夠利用各種不同的來源將反應物引入反應室內。這些包括熱壁、冷壁和冷陰極源，都對腔內獨特的工藝特性和能力做出了貢獻。AMAT 0010-70064反應堆在每個單元內都有極好的安全和汙染控制特性。這包括廣泛的安全特性，如溫度監測和控制，以及氧氣/二氧化碳（O2/CO2）監測，這兩者都使反應室處於安全和一致的操作條件。此外，該室絕緣良好，設計為最大限度地減少熱量損失，確保最佳工藝可重復。最後，所有這些特性都有助於確保反應堆產生高質量的結果，同時減少廢物的產生。應用材料0010-70064反應器是一種強大可靠的薄膜沈積工具。其設計和特點使其非常適合廣泛的半導體、表面修改和蝕刻應用。通過提供卓越的性能、工藝質量和安全特性，它是任何實驗室或工業環境的絕佳選擇。
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