二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-75005 #293591839 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005是為薄膜輕沈積而設計的反應器。它用於矽和復合半導體沈積，以及LED和其他光電材料。反應堆有一個大的加工室，直徑36英寸，深度35英寸。腔室是一種惰性的工藝環境，允許沈積所需的各種溫度、真空條件和清潔水平。它采用熱墻設計，配備Turbo Torr泵設備和直接基於頻率的射頻電源。熱墻設計提供了出色的溫度均勻性和定向控制良好的等離子體。該電源系統在薄膜工藝中具有較高的均勻性、劑量率和可重復性。它還對納米結構的大小和形狀提供了更大的控制。這對於需要精確層厚度控制的光沈積應用來說是一個重要的特點。該工藝室配有電極籃，在電極布置上允許充分的靈活性。對於外延等幾種薄膜工藝來說，這是一個很有價值的特點，在這種工藝中，必須創建對薄膜厚度有精確控制的自組裝結構。AMAT 0010-75005反應堆還具有直接驅動電子槍、多級快門控制、過程儀表和自動化過程監測單元。這些特性保證了薄膜沈積的更高精度和可重復性。流程參數可以快速更改,無需手動調整。自動化過程監視機器還允許對過程狀態進行全面反饋，這有助於確保最佳性能。這有助於減少可變性，從而導致生產更加一致。應用材料0010-75005反應器是輕質沈積工藝的絕佳工具。它提供了出色的溫度均勻性，精確控制納米結構的大小和形狀，以及對工藝狀態的透徹反饋，從而確保了最佳性能和可重復性。該反應器具有廣泛的特點，是LED和光電材料沈積的理想選擇。