二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-75005 #9087782 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005反應堆是為化學和/或半導體應用中高批量生產而設計的加工反應堆主力模型。它為半導體制造中最多8英寸晶圓的所有必要工藝步驟提供了專用工作區。這種設備的設計目的是通過允許將多個模塊整合到一個單元中來幫助簡化流程，從而創建一個高效且具有成本效益的生產單元。AMAT 0010-75005反應堆裝有高質量的石英、除蟲菊酯或氧化鋁反應堆室，用於各種氣流和溫度。系統中的所有模塊都與溫度傳感器集成在一起，能夠對所需的工藝參數進行出色的熱控制和一致的可重復性。它包括渦輪分子原位泵，創造高質量的超高真空環境，防止除氣等不良現象。該單元的主要部件包括：機器人裝載機：一種計算機控制的自動裝卸機，用於管理加工室中的晶片。控制器：這包括用於輸入數據的人機接口（HMI）、用於建立流程參數的配方編輯器、用於控制流程的中央流程控制器（CPC）以及用於幫助自定義功能的軟件工具包。反作用室：它有多種選擇,可用於各種工藝應用。它配備了加熱的圓頂、電動噴射器加熱器和工藝端口技術，允許快速、可重復的結果。氣體分配工具：這包括高精度壓力調節器、質量流量控制器和其他氣體系統，以確保氣體分配到反應室的準確性和可重復性。濺射源：這包括一系列濺射源選項，包括平面槍、旋轉缸和各種應用的旋轉目標。原位膜厚度監視器和汙染監視器：該監視器提供反應室內參數的實時反饋。視口：此視口為反應室提供清晰的視圖,有助於最大程度地減少過程的可變性。APPLIED MATERIALS 0010-75005 Reactor是完全自動化的，可以容納多個過程步驟。此資產允許快速、輕松地進行設置,並提供有關流程條件的即時反饋。它可以用於各種溫度和壓力應用，並且設計獨特，以提供靈活性和可重復性。0010-75005反應堆是中高批量生產要求的絕佳選擇。