二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-75005 #9389380 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005是設計用於半導體器件制造的單晶圓反應器。單晶片反應器作為熱退火過程的一部分。它可以在嚴格控制的環境中實現高溫,應用範圍從簡單的摻雜活化到復雜的結構集成。AMAT 0010-75005由幾個組件共同組成，共同打造完整的設備。它包括兩個垂直對置的燈，為反應室提供均勻的熱能。這些燈由TWO電源供電，這些電源可以精確控制總功率高達10kW的輻照度。此外,反應室還包括一個反射器,可進一步確保均勻的輻照.負載鎖和真空傳輸機制使單片基板能夠使用快速更換的盒式磁帶安全加載。反應堆裝有快速熱處理（RTP）技術，用於控制溫度、壓力、時間等參數，以便精確退火結果。這樣可以提高設備性能和可靠性。應用材料0010-75005利用基於PC的熱批處理軟件包優化退火過程。這確保了對熱過程的控制,並允許從批處理到批處理的可重復性。此外，該反應堆設計具有安全特性，可優化系統完整性，保護操作員和人員。0010-75005為人性化單元,具有大觸摸屏面板和直觀的控制菜單。真空控制和晶片加熱是自動管理的，安全聯鎖機可以設置為自定義參數。不同的基材可以通過AMAT/APPLICED MATERIALS 0010-75005進行加工，包括矽、砷化的，以及其他材料。綜上所述，AMAT 0010-75005是一個用於熱退火過程的單晶圓反應堆。它提供對溫度、壓力和時間的精確控制,以改進退火效果,並實現批量處理的自動化。其安全特性確保工具完整性，保護操作員和人員。該反應器是半導體器件多基板制造的有效工具。