二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-77533 #293655752 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-77533是為薄膜沈積而設計的先進反應器。該反應堆采用兩區閉室交叉流動設計，具有垂直取向的源和屏蔽。屏蔽層包含在加熱氣體電池內，該電池由大功率石英燈加熱，並利用精確的控制機制確保質量薄膜的沈積一致。由於利用了差動質量流控制器，加熱氣體電池被設計成保持一個均勻的溫度。這確保了可靠、可重復的薄膜沈積，並保持了最佳沈積條件。源和屏蔽層也進行了優化，以減少汙染，這有助於確保高質量的薄膜具有最小的可變性。為了達到均勻的薄膜厚度，AMAT 0010-77533反應堆采用了三軸電樞。該電樞具有旋轉控制系統，可最大程度地減少重力的影響，並對腔壁上的所有材料保持均勻的沈積速率。電樞由耐高溫材料構成，能夠上下移動、左右移動、進出工藝室，保證均勻的熱能轉移到沈積區域。反應堆配備了幾個先進的特性，用於監測和控制沈積過程。其中包括一個精確精確的石英溫度控制器，能夠保持預先設定的溫度範圍。這有助於確保沈積的一致性和均勻性。此外，反應堆還包括光發射光譜（OES），用於監測氧氣、氙氣、氮、硫等氣體等工藝參數。這確保了對沈積過程的精確控制，並有助於提高吞吐量。APPLIED MATERIALS 0010-77533反應堆還提供一系列自動化特性，以提高生產力和效率。這包括自動電源控制、自動進給速率控制和自動屏蔽。自動電源控制可實現可重復和一致的性能,並縮短沈積過程的持續時間。自動進料速率控制有助於提高向沈積室輸送物料的精度和重復性。最後,自動屏蔽有助於降低汙染風險,並有助於延長部件壽命。總體而言，0010-77533反應堆設計以安全、高效、可重復的方式提供優質薄膜。其特點是采用垂直取向源和屏蔽的兩區閉槽橫流設計，石英燈加熱氣室，以及均勻沈積的三軸電樞。該單元還配備了先進的監控和自動化功能，以提高生產率和提高膠片質量。