二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-81422 #293659997 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-81422是一種多室熱反應堆設備，設計用於沈積金屬、聚合物、電介質和半導體材料的薄膜。它基於提高系統靈活性的高效模塊化體系結構。它包括一個開放管主反應器室，通常用於將氣體反應物反應成所需的薄膜材料。開放式管設計還允許用戶根據自己的特定需求定制腔室。該裝置還包括成角度的定向噴射器，以確保整個基板的加工均勻。它包括幾種壓力和高溫控制功能，如手動或自動氣體調節和防止過熱和過壓的安全機制。它還具有改進的性能和運行範圍,可擴展到300 °C至1650 °C。精確的溫度控制可以實現多級工藝流程,而創新的板波導組件則有助於在多種配置中創造穩定的性能。所有這些特性都能精確控制反應物和所有工藝參數。它還包括用於等離子體增強過程流的集成射頻電源。隔壁設計有助於提高最終產品的沈積率、均勻性和出色的汙染控制。該腔室易於組裝、操作和與上遊或下遊系統集成，以實現先進的工藝流程。機器還配備了直觀的軟件包，調節壓力、溫度、氣流、成分等所有參數。它還包括視頻成像和可編程觸摸屏顯示器。AMAT 0010-81422是許多材料沈積應用的絕佳選擇。通過確保將沈積和蝕刻工藝有效地集成到單個腔室中，它提供了優越的加工效果。憑借其先進的功能和直觀的軟件，即使是最復雜的食譜也很容易使用。適用於半導體器件、生物醫學器件、太陽能電池和化學機械拋光（CMP）操作。