二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-81422 #293664188 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-81422是由運動控制專家AMAT設計開發的高溫化學氣相沈積（CVD）反應器。這種強大的反應堆在各種薄膜和異質結構材料的工藝開發和生產中特別有用，其中包括復合半導體材料如氮化移銨（GaN）、磷化銨（InP）和砷化鋁（AlGaAs）。這種多用途的設備有一個兩英寸的腔室，使其適合各種晶圓的幾何形狀，並且可以處理高達450°C的溫度。這種堅固可靠的反應堆設備具有多達六個源端口，以及用於從低湍流室泵送反應物的氣體註入和歧管系統。這確保了材料沈積可采用多種工藝條件，包括可調節沈積速率、脈沖蒸發器和共蒸發器。此外，每個端口都配有質量流量控制器和致動閥，以便精確控制氣流通過腔室。廢氣也借助計算機進行調節，因為出於安全原因不應超過一定水平。反應堆系統還設有一個先進的控制單元，允許用戶快速輕松地設置流程，開始運行，實時監控結果。這臺用戶友好的機器由一個觸摸屏面板組成，顯示工具的相關參數，如壓力、功能和溫度。它還提供了高度可靠的實時反饋,從而實現了一致且可重復的過程。集成的熱電偶和風扇控制提供了對工藝溫度範圍的進一步精確控制。AMAT 0010-81422反應堆允許用戶為半導體工業快速開發和生產廣泛的金屬有機化合物材料。這種體積小巧但功能強大的反應堆具有更強的安全性和先進的控制系統、較高的腔室溫度以及廣泛的特性,非常適合用於超大規模集成（ULSI）和復合半導體加工。