二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-85027 #293650214 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-85027是一個高度先進的反應堆,設計用於在其單一平臺內的獨立腔室中的多個過程。它通常用於半導體制造及相關行業。該反應堆由兩個部分組成:一個包含等離子體源,以及氣體和液體入口和出口;和另一個包含工藝室的扇區。等離子體源是一種產生低溫低壓等離子體的高頻發生器。然後通過工藝室進行大量沈積、濺射和蝕刻操作。先進的保形沈積過程形成並沈積在各種無圖案的基板上,具有極好的均勻性,是形成100納米以下器件的理想工具。先進的蝕刻技術包括高密度等離子體蝕刻和離子束蝕刻,以實現多層的高精度蝕刻,缺陷最小化。此外,還可以采用具有可調濺射速率的高性能濺射技術來沈積最終層和沈積高反射率層,用於鈍化和光學特征。除此之外,AMAT 0010-85027還具有多種允許精確過程控制的功能。其中包括精確瞄準等離子體源的力平衡內部線圈系統,以及實時監控系統和先進的計算機控制自動化。其先進的過程控制也保證了一致性、重復性和統一性。這個反應堆具有很高的適應性,可以定制以滿足用戶的特定需求。它也完全符合ISO 13485和21 CFR Part 11標準,使其適合在生物技術和醫療器械等多個行業使用。此外,它既可靠又高效,為半導體制造提供了經濟高效的解決方案。
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