二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-93133 #9277963 待售

ID: 9277963
Dome Temperature Control Unit (DTCU).
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-93133是為半導體制造和其他微電子相關研究應用而設計的多區熱處理反應堆。這個高度專業化的反應堆配有精密的溫度和壓力控制器,每個加工區都有自己的獨立控制器。該反應器標配10個熱控制區,用於整個反應室均勻的溫度梯度。它還包括低流量氣體註入功能,通過整個反應過程確保一致的溫度和壓力。這種精心設計的設備還致力於優化反應室內的氣流,可以增加通道數量,以優化反應物與反應要求之間的兼容性。該系統對氣體的均勻擴散,成為一個高效可靠的反應平臺。AMAT 0010-93133設計用於廣泛的工藝應用,特別適用於蝕刻、金屬化、光刻、沈積、氧化等半導體工藝。使用計算機控制單元還允許較長的處理時間和使用較低功率設置,使其成為低功率過程的理想設備。APPLIED MATERIALS 0010-93133還配備了一系列安全特性,如陶瓷絕緣雙壁結構,以減少熱損耗。此外,它還設計用於從側面快速打開,以便在必要時啟動緊急疏散。總體而言,0010-93133是一種精密可靠的反應機器,適用於多種類型的工藝。其高效的氣流、均勻的擴散、靈活的溫度控制和全面的安全特性,使其成為研究和半導體應用的高效、通用的工具。
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