二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-93133 #9277991 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-93133是設計用於半導體制造的先進自動化反應器。反應堆主要用於蝕刻、沈積和清洗過程；與AMAT APPLIED MATERIALS Endura平臺的其他組件一起使用。AMAT 0010-93133是現成的等離子體處理反應堆，可配置用於多種應用。它具有與SMIF兼容的硬件,可確保在設備之間和設備內高效傳輸部件。通過使用集成反饋回路，ETCH和CVD反應堆能夠精確控制氣流、壓力和溫度。此功能允許在自動化環境中實現出色的流程可重復性和可重復性。APPLIED MATERIALS 0010-93133反應堆的設計包括幾個創新的特點，以提高運行效率。該系統具有多室工具，可以配置為生產從鋁到銅的不同材料。頂室可密封加壓，用於生產氧化矽等交替應用。底腔提供全射頻和直流同軸註入點，用於處理頻率和電壓。0010-93133反應堆還設有高真空室，可在PECVD環境中運行。這允許更高的沈積速率和更大的晶體密度。通過使用閉環控制器，可以調整每個晶片的等離子體條件，提供一致的沈積剖面。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-93133反應堆還包括一個控制整個過程的計算機化單元。這包括監測氣體利用率和晶圓轉移，並提供晶圓溫度和氣流的實時數據。該機器還提供高級安全和審計跟蹤,確保對整個過程完全負責。總體而言，AMAT 0010-93133是設計用於半導體制造行業的最先進的自動化反應堆。它具有多腔過程的能力，並具有生產多種類型材料的能力。其先進的控制工具允許精確的操作和優異的過程重復性。這使得APPLIED MATERIALS 0010-93133成為任何半導體制造設施的寶貴工具。