二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-93423 #293650215 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-93423是一種先進的等離子體蝕刻反應器，設計用於進行化學氣相沈積（CVD）處理。反應堆是一種兩室多過程設備，頂部和底部的腔室通過外部通風口系統連接。它有一個淺室設計和溫度控制每個腔內允許獨立控制工藝參數。頂室具有高密度等離子體源和強大的感應電源。這允許創建均勻且可復制的等離子體，這對於成功的蝕刻過程至關重要。它還包括一個反應性氣體輸送裝置，用於輸送必要的工藝氣體，以便實現所需的蝕刻參數。底腔包含多個反應目標，其中一些可能是絕緣的，也可以安裝額外的工藝組件或探測器。AMAT 0010-93423構造在堅固的不銹鋼框架中，能夠承受高溫。它還具有廣泛的安全特性，包括用於超壓保護的破裂盤、應急排氣系統和應急氣體關閉閥。PLC具有自動控制和數據采集功能,並帶有板載觸摸屏,可訪問流程設置和數據記錄功能。這允許用戶在操作過程中實時監控關鍵流程參數和調整設置。PLC還允許機器輕松集成到更大的流程監控或自動化網絡中，同時支持EtherCAT和基於以太網的網絡。APPLIED MATERIALS 0010-93423適用於廣泛的工藝和應用。它非常適合涉及低溫工藝配方的應用，如氧化物、氮化物和氧硝化物的沈積。它還能夠在廣泛的材料上進行蝕刻，包括矽、不銹鋼、InP和SiC，可以用來實現高分辨率和均勻性。此外，它適用於各種樣本量，非常適合用於研發項目。