二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev C #9087289 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev C是專為使用化學氣相沈積（CVD）工藝而設計的反應堆。這個裝置有一個圓柱形的腔室，長兩英尺，直徑兩英尺。腔室的底部有一個電加熱卡盤。此卡盤用於固定基板或接受CVD處理的對象。基材的直徑可以在2到6英寸之間。腔室還有一個四閥入口，位於其上邊緣，就在腔室的頸部下方。該端口允許材料在CVD過程中進出腔室。這四個閥門常被用來控制各種物質的入口和出口流量，如工藝氣體和真空泵排氣。閥門可以通過多種不同的方式進行配置,具體取決於應用程序。該腔室還具有氧化鋁敏感器，或放置在卡盤上的一塊特殊陶瓷材料，以幫助在腔室內均勻分配熱量。這有助於確保基板將接收相同水平的熱量，而不管它位於腔室的位置。AMAT 0020-20626 Rev C反應堆具有多項特性，使其能夠安全運行。該室配有緊急關閉開關，可用於在緊急情況下切斷系統電源。此外，反應堆還配備了惰性氣體流動系統，可用於在清潔氮氣中泵送，以取代腔室中可能存在的任何潛在危險的可燃氣體。在功率方面，反應堆裝有一個20,000瓦的加熱元件，能夠提供進行各種CVD過程所需的溫度。另外，反應堆有一個可變電源，可以根據工藝的要求調整以提供不同程度的功率。總體而言，APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev C反應堆是一種可靠且用途廣泛的裝置，已被用於多種CVD工藝。它具有多種安全特性，使其能夠在各種溫度下安全地運行，用於各種不同的化學氣相沈積應用。