二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-00893 #293658095 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-00893 Reactor是一種雙區垂直化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於大體積沈積薄膜，如半導體、特種陶瓷、準金屬等。該反應堆利用熱和化學前體的組合，將材料直接沈積在兩個獨立工區內的基板上，如矽片。反應堆具有兩個完全獨立和孤立的垂直區域，可以單獨加熱，以優化特定於所用材料或工藝的條件。這允許一個獨特的多區沈積過程。每個區域都可以設置為不同的溫度，以確保在基板上有準確和均勻的沈積，以及保持基板與不同加工條件之間的溫度均勻性。下部區域容納了一個等溫的除蟲菊酯石英室，可以專門針對多種工藝進行編程，使其適合許多沈積技術。配備6英寸圓形基板支架，AMAT 0040-00893反應堆最多可容納150個單獨基板，效率最高。基板支架的設計使得任何不需要的材料可以很容易地去除，而不需要排出系統。反應堆還設計了一種氣體引入系統，該系統具有很高的靈活性，可以容納不飽和前體，從而充分利用了兩區沈積過程。還包括一個可調的流動範圍，以優化高特異性薄膜的沈積速率。反應堆還安裝了一個額外的港口，可以對過程參數進行現場監測，從而加強對過程的控制和安全監測。運行應用材料0040-00893反應堆很容易，因為它設計有一個直觀的控制面板來監控和調整參數，以便進行高效和安全的處理。總體而言，0040-00893反應堆是研究和工業應用的絕佳選擇，因為它能夠確保薄膜的均勻沈積，同時也能安全高效地運行。