二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-02955 #293658139 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-02955 Reactor是一種用途廣泛、精密的工藝室系統,非常適合各種沈積和蝕刻工藝。AMAT 0040-02955反應堆具有業界領先的1.8米半徑,可提供高達近100萬平方厘米的配方,是眾多研發、生產和質量控制應用的選擇。應用材料0040-02955反應堆采用全金屬2706-D非磁性不銹鋼外墻結構,具有高容忍真空密封、先進的雙面加工等離子體金屬化以及持久可靠的高級聯合材料設計。它還通過優化的控件集提供增強的安全性和多功能性,包括多次緊急停機和數字讀數。此外，0040-02955反應堆內部采用耐腐蝕不銹鋼結構，最大工作壓力為530 Torr，工作溫度範圍為-55至250 °C，以及各種相容的基材。該反應堆最多可支持18個工藝方案，並提供高達近100萬平方厘米的令人印象深刻的腔室體積。它還具有較大的沈積面積和優化的射頻匹配系統，以提高基體均勻性和沈積速率。AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-02955反應器以其三維混合脈沖工藝和底物對底物的均勻性，非常適合矽、鎢、TiN、銅鎢沈積等各種具有挑戰性的應用。它在侵蝕反應和方向角等離子體濺射方面的均勻性是一系列蝕刻應用的理想選擇，如矽、GaAs和SiN蝕刻。該反應堆還能夠同時進行多種技術蝕刻。它還具有高長寬比蝕刻能力，是芯片級設計修改的理想選擇。綜上所述，AMAT 0040-02955反應堆是從沈積到蝕刻等一系列工藝技術的理想解決方案。APPLIED MATERIALS 0040-02955反應堆具有堅固的結構、廣泛的工藝控制選項、最大運行容量近百萬平方厘米。