二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-07033 #293651771 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-07033反應堆是一種用於制造不同種類半導體和微電子器件的基板加工工具。廣泛應用於集成電路（IC）、光電元件和微機電系統（MEMS）的制造過程中。AMAT 0040-07033反應堆是一種熱保護石英管式爐，在大氣壓下有一個玻璃鐘室，裏面裝滿惰性氣體，與集成的石英敏感器相連。通過由電動機驅動的提升機構來升高和降低感受器。它有一個內部加熱機制，使溫度能夠被精確控制。APPLIED MATERIALS 0040-07033反應堆能夠在受控環境中產生廣泛的溫度範圍，在小數點後精確度高達三位數。溫度控制是通過改變提供給石英敏感器的功率來實現的。反應器用於分子束外延（MBE）、化學氣相沈積（CVD）和原子層沈積（ALD）等過程。在MBE中，含有所需材料的氣體被引入腔室，然後這些材料在電場的影響下沈積在基板上。在CVD中，前體氣體被引入室內，然後經過一系列高溫過程，導致在基質上形成所需的化合物。在ALD中，薄膜通過前體材料和氧化劑的交替層沈積在基板上。0040-07033反應堆能夠實現組合過程，如雙MBE/CVD/ALD。這樣就可以在一個過程中組合由不同方法創建的薄膜。它還允許使用不能過高加熱的前體材料，因為溫度是根據所使用的材料調整的。AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-07033反應堆是生產各種復雜半導體和微電子器件的通用可靠工具。它對溫度的出色控制、熱量的均勻分布以及執行組合過程的能力，有助於創建可靠和高質量的組件。