二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-49285 #293647105 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-49285反應堆是一種高功率、高溫、高壓等離子處理系統。它是工業上最先進的工具之一，提供均勻的溫度、清潔的加工和較高的材料沈積速率。AMAT 0040-49285反應器適用於薄膜沈積、離子註入、蝕刻、互連等多種應用。反應堆配有電源、射頻電源和多室組件。該電源能夠產生最高450V的高壓，用於腔室的預電離和腔室內等離子體的形成。射頻電源能夠產生高達24千瓦的功率，以產生維持等離子體所必需的高頻波。多室組件由陰極腔、陽極腔和低壓主腔組成。陰極腔利用RF電源產生的RF功率，產生一股向陽極定向加速的離子流。陽極室包含一個待加工的工件，同時加熱。低壓主室能夠容納射頻功率產生的高溫和壓力，同時防止電弧或短路。APPLIED MATERIALS 0040-49285反應堆的多室配置允許對過程進行非常精確的控制。可以根據需要精確監測和調整腔室的溫度和壓力。此外，陽極腔內的壓力和溫度可分別通過源氣流和電子轟擊進一步調節。這允許精確控制沈積速率、離子能量和離子註入水平。0040-49285反應堆還能夠進行多種工藝，從薄膜沈積到陶瓷制造，再到蝕刻和半導體加工。射頻功率的強度，對腔室內壓力和溫度的精確控制，以及可能過程的範圍，使得反應堆成為許多工業應用的寶貴工具。