二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-53718 #293668979 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-53718是設計用於半導體加工的高性能等離子體蝕刻反應器。反應堆采用低溫風冷源，對源施加高壓射頻能量場，為各種蝕刻任務創造等離子體環境。AMAT 0040-53718除了具有提高吞吐量和改進蝕刻均勻性的優點外,還具有易於使用和易維護的特點。反應堆的電源系統基於嵌入式3.5kW射頻發電機。發電機具有高頻穩定性和低頻波紋，允許一致的蝕刻性能。等離子體室本身由兩個銅線圈構成，兩者都被封閉在氧化鋁包膜中並磨砂以最大化射頻吸收率。這種獨特的材料組合使反應堆能夠在保持卓越真空完整性的同時達到很高的溫度。腔室內部配置有內垂壁和雙進氣歧管，可控制氣流，便於清潔和維護。APPLIED MATERIALS 0040-53718的附加功能包括易於使用的發電機控制器、低維護快門組件以及用於後蝕刻烘烤的集成烤箱。該控制器使用戶能夠編程操作參數，也可用於實時監控和調整等離子參數。快門組件設計為在整個腔室提供最大壓力均勻性，同時也保護腔室免受氧化腐蝕。最後，烤箱提供後蝕刻烘烤提高吞吐量和均勻性。總體而言，0040-53718是一個可靠、高性能的等離子體蝕刻反應堆，旨在滿足當今半導體加工業的需求。AMAT/APPLICED MATERIALS 0040-53718反應堆從高頻穩定發電機到易於維護的內部部件，提供了可靠、經濟實惠的完整蝕刻解決方案。