二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-70247 #9225693 待售

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ID: 9225693
晶圓大小: 12"
Chamber for Centura RTP, 12" Lamp housing Brazed Flex flange.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-70247是一種單晶片、單室、化學氣相沈積(CVD)設備,設計用於先進的納米級器件制造。這種反應器使電介質膜和其他先進材料在基板上的生長具有非凡的均勻性、重復性和可擴展性。AMAT 0040-70247反應堆具有機械設計的單室,允許過程氣體連續流動。這種靈活的設計使單晶片加工具有高溫均勻性,可用於生產薄膜。反應堆裝有一個ENEZ-1溫度控制器,能夠達到1000 °C的溫度。這些高溫允許沈積復雜的材料層,如堆叠的介電層和平面化層。反應堆還設有過程互鎖安全系統,可防止任何推進劑意外泄漏或顆粒汙染,確保不同類型晶片的安全處理。此外,APPLIED MATERIALS 0040-70247通過其熱法註氣孔和沈降速率控制能力,確保了準確、不受溫度影響的氣體分布。該單元還包括設備設置的全自動序列,確保可重復性和與不同跟蹤模式一致的性能。0040-70247反應堆提供了一個附加物料表,使不同的工藝氣體能夠生長各種材料,從而在基板上生產出纖維層。此外,它的聚冷晶片以及它的高真空模式能力允許各種材料的沈積具有不同的蝕刻速率。AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-70247 CVD反應堆是一種堅固多用途的機器,旨在滿足最先進的納米級器件制造工藝的要求。它提供了最佳的過程控制、高熱均勻性、精確的氣體分布、無與倫比的可重復性以及先進的安全工具。
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