二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-82421 #293646607 待售

ID: 293646607
Heater.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-82421是專門為半導體工業設計的一種化學反應器。該反應堆是一個高溫、化學氣相沈積(CVD)系統。它用於金屬、金屬氮化物、氧化物和電介質在半導體晶片表面的高溫沈積。AMAT 0040-82421反應堆裝有允許低壓處理和高度過程控制的高溫真空系統。這座反應堆還配備了可變壓力和溫度控制,允許廣泛的溫度和壓力設置。溫度範圍從300攝氏度到800攝氏度,允許各種工藝以極高的精度完成。反應堆還有一個源氣體控制,允許廣泛的源氣體配置。該反應器的設計具有優異的晶圓均勻性和工藝重復性。這是通過提供實時和運行後分析的高級光學監控功能實現的。板載軟件控制所有參數,包括溫度、壓力和源氣體。該軟件可用於調整和優化每個過程的參數。APPLICED MATERIALS 0040-82421反應堆以整體堅固的設計建造至最後。它的不銹鋼腔室和鈍化的墻壁是耐腐蝕的,並且可以持久建造。其集成抽水系統提供高真空水平和快速排氣時間。0040-82421是專門為滿足半導體行業需求而建造的高溫CVD反應堆。其先進的溫壓控制能力、廣泛的工藝能力以及先進的光學監控系統,提供了一致、高性能的效果。該反應堆的耐用設計、耐腐蝕室和鈍化墻為其提供了進一步的支持,這意味著它可以在今後許多年裏提供可靠的結果。
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