二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-86 Rev.002 #293676279 待售

AMAT 0040-86 Rev.002 Reactor是一種先進的多工藝半導體設備。該反應堆旨在為用戶提供制造光伏器件和電路的廣泛功能。反應堆是用非常高效的過程控制系統建造的，有各種各樣的配方，允許用戶定制他們的生產過程。反應堆采用先進的束線幾何結構，包括七個獨立可控的沈積源。這種波束線幾何提供了前所未有的對沈積過程的控制水平。這種幾何學的先進精確度也允許精確控制所生產薄膜的厚度和均勻性。該反應堆能夠處理各種材料，包括矽和​​的。它還能夠沈積多種金屬和合金，包括銅和鋁。氧化物的沈積也有可能與反應堆一起發生，包括氧化鋅、砷化氙和氮化矽。此外，反應堆還可以沈積多種有機材料，如聚酰亞胺和全氟環丁烷。反應堆還能夠進行沈積-蝕刻循環，以產生地溝、通氣和其他結構等特征。由於其快速的工藝周期以及同時沈積和蝕刻不同材料的能力，該工藝非常有效。這一過程允許制造復雜的單層和多層半導體結構。反應堆內包含的先進過程控制系統允許用戶在運行過程中監控和調整操作參數。這允許用戶快速準確地調整沈積過程，以創建所需的薄膜和結構。此外,該單元還能夠診斷問題並對過程進行更正。最後，APPLIED MATERIALS 0040-86 Rev.002 Reactor為用戶提供了一系列方便的功能。反應堆配有可調平臺架、可調氣體管線、可調溫度控制器，確保沈積精度最高。此外,該機器還具有用於操作、存儲和分析流程數據的板載控制器,以及用於遠程訪問的集成局域網。