二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0041-56491 #293659985 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0041-56491 Reactor是半導體工業中用於蝕刻和沈積過程的工具。這類反應器是一種等離子體熱處理源，用於在氣基反應室中沈積和蝕刻材料。AMAT 0041-56491反應堆用於半導體制造、研究和學術實驗室以及工業和生產過程。反應堆具有高通量、低成本的每晶片蝕刻工藝，提供高質量、可重復、均勻的蝕刻。反應堆可以在多工具環境中與其他工具集成，允許高通量晶圓處理，具有更大的運行靈活性。此外，反應堆利用專有的多頻等離子體源有選擇地去除蝕刻速率不同的材料。反應器還具有溫度和過程控制功能，以最大限度地延長晶圓的壽命。其多頻高頻等離子體源也降低了晶片對晶片的可變性。利用其智能蝕刻實用程序（SEU）軟件,反應堆能夠將蝕刻速率配置文件與非常具體的客戶要求相匹配。反應堆包括一個帶有閉環功率控制系統的電箱，以最大程度地減少晶片上和外熱處理的不均勻性。反應堆利用幾個附件來增加其功能。它們包括多種氣體進氣管線、保護卡盤免受等離子體的腔室屏蔽，以及可選的真空載荷鎖。此負載鎖定允許工具用於高吞吐量生產,從而提高過程效率和吞吐量。應用材料0041-56491反應堆還采用了多種工藝監測方法。這包括對反應堆的等離子體和機械性能的全面診斷。在該過程的任何時候,用戶都可以查看設置和參數,還可以查看該過程中所采取的所有步驟的記錄。0041-56491反應堆是一種用途廣泛、可靠的工具，旨在滿足半導體行業的需求。該工具非常適合需要精確和一致結果的蝕刻和沈積過程。此外，反應堆與其他工具和功能附件兼容，以提高功能和過程監測。