二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0041-75950 #293660498 待售

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ID: 293660498
Assembly ESC bonding full sym 4Z V2, FS, SE No plasma.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0041-75950是一種單區化學氣相沈積(CVD)反應器,設計用於將高質量的薄膜材料沈積在基板上。該反應堆專門用於沈積有彈性和耐用的介電薄膜,如用於電子、儲能裝置和光學用途的薄膜。這一CVD過程涉及在底物上形成一個反應物氣體蒸氣雲,通過熱能或等離子體能量沈積;然後,這種蒸氣雲凝結在基板上並粘附在基板上,形成薄膜塗層。AMAT 0041-75950是一種水平式熱CVD反應堆,設有供氣線、供熱設備、氣流調節器和氣體傳感器,以及反應堆室中央的沈積區。單區設計包括液壓驅動升降門,為樣品室提供低接觸表面積和無汙染環境。該室利用循環低湍流氣流,確保沈積區域的均勻性。APPLIED MATERIALS 0041-75950的真空室額定壓力範圍為1-10 Torr,耐腐蝕性為全不銹鋼。基板支架被電加熱至0-1000°C的溫度。為確保沈積速率和層厚正確,用紅外高溫計監測溫度速率。0041-75950專為高流程吞吐量和由於維護要求低而延長組件壽命而設計。它被設計為在需要進行任何維護之前連續不間斷運行長達8小時。它具有一系列安全功能,包括自動快門系統、排氣裝置和內置腔室刮刮機,以收集任何堆積在腔室墻壁上的沈積材料。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS 0041-75950專為薄膜材料的高質量和高效沈積而設計,非常適合用於生產電子、儲能設備和光學系統。這種單區CVD反應堆是薄膜沈積極為可靠、高效且具有成本效益的選擇。
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