二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0041-75950 #293669536 待售

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ID: 293669536
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0041-75950是一種先進的等離子體增強化學氣相沈積(PECVD)反應器。它旨在將材料薄膜沈積到基板上。這些薄膜被用於從光伏電池到半導體器件等多種應用。AMAT/APPLIED具有雙頻率、感應耦合、源驅動等離子體源。這種設計允許對等離子體參數進行最佳控制,從而在沈積過程中實現更好的重復性和均勻性。反應堆采用集成的變頻源驅動電源。這種設計允許精確控制等離子體的頻率和功率水平。此外,反應堆配有可編程波形發生器,允許用戶根據自己的具體需要量身定制工藝參數。該反應堆具有水平磁控管源和He-氣源。這種設計確保了整個晶片的均勻性,並允許高度的過程控制。反應堆支持廣泛的反應氣體,包括N2、O2、CO和Ar。它設計用於直徑2至8英寸的標準生產晶圓尺寸。APPLIED MATERIALS/APPLIED具有模塊化設計,能夠輕松交換加工源。這種靈活性使用戶能夠快速適應不斷變化的基材需求。反應堆還配備了過程監控系統,允許用戶實時可視化沈積過程。這有助於確保一致、均勻的薄膜沈積。AMAT/APPLIED MATERIALS/APPLIED能夠實現範圍廣泛的沈積速率,從1到500 nm/min不等。這允許各種成核率,對於高質量薄膜的沈積至關重要。該反應堆專為高通量和工藝穩定性而設計,非常適合大批量制造環境。最後,AMAT 0041-75950是一種高度通用和用戶友好的PECVD反應堆。它具有多種工藝來源和模塊化設計,便於互換。該反應器的設計具有高通量和過程穩定性,為廣泛的應用提供了快速可靠的薄膜沈積。
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