二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-03467 #293649904 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0090-03467 Showerhead Reactor是一種革命性的技術設備，設計用於各種用途的薄膜沈積。反應堆由上下噴頭幾何組成，由一個封閉的處理室覆蓋。AMAT 0090-03467的特點是處理面積大，工藝均勻性增強，流動動力學改善。上部噴頭包含一個圓形的氣體輸送尖端陣列，允許動態氣流分布到下部噴頭。氣體輸送尖端由頂層材料構成，其設計目的是在整個工藝區域提供均勻的氣流。尖端由一個固定環固定在適當的位置，該固定環的設計是為了防止意外移除。下部淋浴頭由一個框架組成，該框架容納了一些單獨的粉末源插槽。這些插槽是可調的，可以對粉末源進行微調，用於各種材料沈積過程。下部噴頭內還裝有一個進氣噴射器，可以引入有助於薄膜沈積過程的反應性氣體。封閉式加工室容納上下淋浴頭幾何形狀。它由高溫不銹鋼構成，並配有熱效率較高的隔熱系統，用於加工室內的高溫控制。加工室的壁襯有石英，允許射頻能量傳輸到腔內，並根據需要引導到基板上。APPLIED MATERIALS 0090-03467 Showerhead Reactor可用於在包括矽、玻璃和金屬在內的多種基板上沈積薄膜。薄膜可用於包括薄膜太陽能電池、光學塗層、耐磨塗層和導電膜在內的廣泛應用。該反應堆還被設計成一種用戶友好且成本效益高的工具，使研究人員、工程師和制造商能夠快速可靠地沈積薄膜。