二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0100-00396 #293655169 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0100-00396反應器是一種先進的大型半導體加工工具，設計用於對各種基材上的薄膜沈積進行高效、精確的處理。該反應堆具有先進的聚類體系結構，可提供卓越的處理性能和對環境的精確控制，以精確控制沈積速率和均勻性。設備配備集成氣流壓力控制、自動沈積控制，最多可容納四個工藝室。這些腔室的設計便於大量生產多種基材，並提供穩定、均勻的制造條件。反應堆的最高溫度範圍高達400°C，能夠進行氧化和蝕刻。它能夠在基板上輸送高材料負荷，同時最大限度地減小厚度擴散，提供低粗糙度--薄膜沈積的最佳制造條件。此外，反應堆還包括先進的碳蝕刻技術，以盡量減少由於蝕刻而造成的材料損失。AMAT 0100-00396配備了不同的工藝支架，設計用於系統中基板的最佳裝卸。該裝置還設有專門的氣體分配機，可實現精確的壓力控制、均勻的溫度和均勻的工藝沈積速率，用於薄膜的熱和物理氣相沈積。基板傳遞工具包括一個精密的機械臂和一個步進馬達，能夠對每個工藝步驟進行精確的參數控制。該資產配備了多種儀器，包括光學發射光譜（OES）模型、石英微拉曼光譜（QMRS）設備、機械性能分析儀（MPA）和表面流變學分析儀（SRA）。這些儀器能夠精確利用和評估系統中進行的進程，並提供可用於調整或修改進程或反應堆參數以取得最佳結果的數據。APPLIED MATERIALS 0100-00396是一種先進的工具，用於在多種基板上生產薄膜沈積。它非常適合要求苛刻的制造應用，如半導體器件和光伏電池。該單元設計為均勻性、精確度和高產率，是任何先進半導體加工需求的理想選擇。