二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0100-09153 #293658872 待售

ID: 293658872
Gas panel interface board.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0100-09153 Reactor是一種設計用於執行先進和高精度的poiy-silicon蝕刻工藝的設備。該系統由沈積室和蝕刻室兩個室組成。沈積室是一種閉環式真空室,能夠支撐真空過程。該室配有各種組件,支持引入低壓、控制真空、監測機組溫度和提供過濾等過程。蝕刻室作為機器的主要加工室,是進行蝕刻過程的地方。該腔室還配備了沈積腔室的類似部件,有助於優化蝕刻工藝。PMTAMAT 0100-09153反應器裝有用於蝕刻過程的電子束源和離子植入器。首先將低壓電離氣體引入蝕刻室,然後加熱,以提高加工後的基材溫度。這有助於引入反應性物質,從而誘導與底物的化學反應,從而實現精確蝕刻。電子束源通過控制蝕刻反應的方向來輔助蝕刻過程。最後,離子被植入到基板上,以便操縱基板晶體的大小和結構。PMT APPLIED MATERIALS 0100-09153反應堆是一種精密的工具,能夠進行廣泛的蝕刻工藝。通過其精密控制蝕刻過程的能力,該資產成為薄膜矽結構發展的有用工具。它能夠生產具有優異結晶特性和明顯電性能的材料。此外,它非常適合於微電子工業中使用的各種元件的蝕刻和制造。
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