二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0100-20100 #293657571 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0100-20100 Reactor是一種熱處理設備,為各種沈積應用提供出色的工藝控制和一致性。它是為高通量和高沈積速率而設計的,是生產工藝的理想選擇。該系統由反應室、加熱元件和計算機控制的過程管理單元組成。反應室是為涉及高溫的應用而設計的,最高工藝溫度為1000 °C。腔室設有兩個惰性氣體入口和兩個排氣口,以及一個排氣口。此外,該室還配備了若幹可配置的擋板、篩分組件和熱電偶,以確保均勻沈積。機器的加熱器元件由高可靠性、低功耗電源提供動力,由基於PLC的閉環過程控制工具控制。資產向加熱器元件發送電流和電壓輸入,並自動調整元件的功率,以確保保持所需的溫度。元素的實際溫度由位於反應室內的熱電偶監測。該模型由PC控制的過程自動化軟件進行管理,允許對過程溫度、過程時間、質量流等參數進行輕松設置和調整。軟件還存儲流程數據以進行離線數據分析,並確保流程可重復且穩定。它還可以方便地訪問和控制加熱器元件、氣流控制和攔截室功能。AMAT 0100-20100反應堆提供可靠和可重復的工藝,確保各種沈積應用的持續高質量的結果。其將各種基板加熱至高溫的能力是生產工藝的一個有價值的特點,使其成為許多工業應用的理想選擇。
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